反應精餾制電子級氯硅烷
產品及應用領域概述:硅烷,分子式為SiH4,沸點-111.9℃;常溫下為無色氣體,對氧氣和水敏感。溶于水,幾乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和四氯化硅。
硅烷目前主要用途為:制造高純度的硅,廣泛應用于光伏、新能源、半導體等行業。
工藝及技術優勢:
目前硅烷生產方式主要有:氟化鋁鈉法、硅鎂合金法和氯硅烷歧化法。技術均源自國外,國外的氯硅烷歧化技術存在一定缺陷,體現在設備復雜,流程冗長,能耗較高上。
反應精餾制硅烷工藝,以純度為9N的三氯氫硅為原料,通過負載高效催化劑的反應精餾塔,硅烷提純塔和四氯化硅分離塔制得合格的硅烷產品。
亮點:
1.設備投資少,在一臺設備內實現歧化反應。
2.反應流程短,能耗較低。
3.通過隔壁精餾和反應精餾去除產品中雜質,純度可達電子氣水平以上。
4.與氫化工藝聯用,可實現體系的閉路循環。